TT Science Lab

サイエンスに関する「個人」の調査・研究・参照ログ

半導体: リソグラフィ

リソグラフィ (まとめ)

【ニュース】■2021年 ◆Intel史上最も驚異的なマシン「EUVシステム」の裏側を追ったムービーが公開中 (Gigazine, 2021/12/29 17:00) https://gigazine.net/news/20211229-intel-euv-most-precise-complex-machine/ ⇒ https://science-lab.hatenablog.com/entr…

Intelが14Aプロセスノードの実現に向けて業界初の商用「高NA EUVリソグラフィ」の組み立てを完了

【図表】 出典: https://gigazine.net/news/20240419-intel-asml-high-na-euv-assembly/ 【ニュース】 ◆Intelが14Aプロセスノードの実現に向けて業界初の商用「高NA EUVリソグラフィ」の組み立てを完了 (Gigazine, 2024/04/19 16:00) https://gigazine.net/n…

Intel史上最も驚異的なマシン「EUVシステム」の裏側を追ったムービーが公開中

【図表】 出典: 【ニュース】 ◆Intel史上最も驚異的なマシン「EUVシステム」の裏側を追ったムービーが公開中 (Gigazine, 2021/12/29 17:00) https://gigazine.net/news/20211229-intel-euv-most-precise-complex-machine/